韩金玉，王守志

(天津中德应用技术大学 a.电气与能源学院；b.航空航天与汽车学院，天津　300350)



应用位置敏感探测器检测平面度的方法研究*

韩金玉a，王守志b

(天津中德应用技术大学a.电气与能源学院；b.航空航天与汽车学院，天津300350)

摘要：为实现平面度误差值的在线检测，文章在分析平面度最小二乘法评定方法和位置敏感探测器测距原理的基础上，提出了一种基于应用直射式光学三角法的平面度在线检测方法，并设计了一种试验装置。该方法首先应用3组位置敏感探测器检测组件逐次检测被测表面的Z向偏离值，确定各被测点的坐标值，然后应用最小二乘法计算平面度,评定基准面后，计算平面度误差值。仿真试验结果表明，文中方法对于一般平面的测量精度较高，优于千分尺指示器法，其测量结果可靠有效。

关键词：平面度；检测；位置敏感探测器

0引言

平面度是产品的一种重要形位公差，其误差值大小对产品的工作质量和工作性能有着直接影响。间隙法、液面法、指示器法等传统的平面度检测方法检测评定步骤复杂，检测精度不高，较难实现在线连续测量[1]。为此，国内外学者应用CCD探测器提出了多种平面度测量方法，如陈宝刚等人基于光学及图像处理提出的内调焦平面度测量方法[2]，陈小宁等人基于双目视觉和投影圆提出的非接触式测量方法[3]，VMaurizio应用斜射式光学三角法提出了平面度迭代测量方法[4]，LZhao等人提出的基于机器视觉的平面度测量方法和柔性校准方法等[5]。……