张海潮，许耀东，张秀娥，陈晋阳

（1.安徽中鼎密封件股份有限公司，安徽 宁国 242300；2.安徽高性能橡胶材料及制品省级重点实验室，安徽 宁国 242300）

扫描电子显微镜（SEM）作为电子显微镜的一种，其实质上可以看作是一个顶部带有加热灯丝、底部带有样品室的真空管[1]。加热灯丝用于产生电子束，并在加速电压的作用下轰击位于底部样品室的待测样品的表面，激发样品表面产生电子信号，用于定性、定量及表面形貌的分析[1-2]。为避免样品表面电荷聚集，用于SEM分析的样品必须导电，对于不导电的样品可进行喷金或喷附碳膜等处理。与普通的光学显微镜相比，SEM可对样品特定区域作深度的高分辨率观察，这一鲜明特征使其成为断裂失效分析的有力手段[2]。

电子束在加速电压的作用下轰击样品表面除产生用于样品表面形貌分析的二次电子、背散射电子外，还可以激发元素的特征X射线。在SEM上配置一个X射线能谱仪（EDS）可检测电子束激发产生的元素的特征X射线，从而可对样品的元素组成进行定性分析[3-5]。

在橡胶行业，随着科技的进步，人们越来越重视使用先进的科技手段对变形、断裂产品进行失效分析，找寻导致产品失效的根本原因，而SEM/EDS联用技术就是其一。不同于其他材料，橡胶是一个含有多种组分的复杂体系，在生产、使用过程中的诸多因素均会导致其失效，例如污染物的存在、体系混合的不均一、周期的作用力、填料与胶体之间的分离、体系中各种原因导致的微孔等都是导致制品失效的潜在因素。……