朱婧婧　李亦军

(中北大学理学院物理系　山西 太原　030051)



一维PSD激光定位反馈指示电路设计

朱婧婧李亦军

(中北大学理学院物理系山西 太原030051)

摘 要：针对某新型激光定位微角位移测试系统，应用一维PSD接收激光并定位反馈指示，设计了一维PSD对中处理电路．实验证明，激光光斑小于10 mm时，对中精度达1 mm．

关键词：一维PSD对中电路激光定位

位置敏感器简称为PSD器件，是一种新型的光电敏感器件，可以连续测量光点位置，基于横向光电效应来测量光入射点的位置，以及与位置有关的其他量．它具有成本底、灵敏度高及位置分辨率高等特性，输出的位置信息与光斑的形状无关，只跟光斑能量中心有关[1]．在很多领域得到广泛的应用．

本文就某新型激光微角位移测试系统设计了一维PSD激光对中定位反馈指示电路．可应用于位移、角位移及其相关等激光测试系统中．

1一维PSD结构和工作原理

PSD是一个P-I-N二极管的结构．它是在P型半导体和N型半导体之间加入一层本征半导体(也称I层)．在P层两端有两个输出电极，在N层底部有反偏电极，可以加反偏电压,形成光电流I0[2]．

当光入射到PSD光敏面时，很大一部分的光子被I层吸收，产生大量的电子-空穴对，在电场中发生载流子的定向运动，于是形成光电流，分别分配到两个电流信号电极．

图1　一维PSD基本结构图

如图1所示，A点为光的入射位置，O为坐标原点，x为入射光离坐标原点的位置，2L为两电极之间的距离．总电流I0等于两分电流I1与I2之和[3]．

PSD的……