褚长亮　屈光辉

(西安理工大学理学院　陕西 西安　710054)

王武孝

(西安理工大学材料科学与工程学院　陕西 西安　710054)

刘满仓　刘如军　张 琴

(西安理工大学理学院　陕西 西安　710054)



光滑表面粗糙度Rz参数的一种干涉测量法

褚长亮屈光辉

(西安理工大学理学院陕西 西安710054)

王武孝

(西安理工大学材料科学与工程学院陕西 西安710054)

刘满仓刘如军张 琴

(西安理工大学理学院陕西 西安710054)

摘 要：介绍了一种光滑表面粗糙度Rz参数的干涉测量法. 该方法用空气膜层上表面与样本表面的基准面平行的方式来观察等厚干涉条纹，用干涉条纹间的相对运动来判断样本表面的峰谷，同时也给出了新的Rz计算公式. 该方法测量过程较简单、对仪器要求较低且有助于样本的表面微观形貌分析.

关键词：表面粗糙度干涉测量法表面微观形貌分析

1引言

表面粗糙度是机械加工领域经常用到的一个参数，它能决定一个工件的性能，也可反映一个工件的等级和应用场合. 表面粗糙度的常用测量法有直接比较法、针触法、光切法和光波干涉法等. 描述表面粗糙度有多种参数. 测量光滑表面粗糙度可选用干涉法、用微观不平度十点高度参数Rz来描述. 对于Rz为0.03～1μm的样本，可使用干涉显微镜来测量[1].

本文提出了另一种光滑表面粗糙度Rz参数的干涉测量法.

2测量原理

2.1基本思想

参考平透镜或参考平面镜的虚像与样本表面之间有一空气膜层，该空气膜层上表面是空气与参考平透镜或参考平面镜虚像的交界面；……