张 东, 鞠振河, 王晓文, 赵 琰, 宋世巍, 李昱材,王 刚, 丁艳波, 王 晗, 王 健, 高 微

(沈阳工程学院 新能源学院, 沈阳 110136)



太阳能电池片上生长ZnO/Al薄膜电极的研究

张 东, 鞠振河, 王晓文, 赵 琰, 宋世巍, 李昱材,王 刚, 丁艳波, 王 晗, 王 健, 高 微

(沈阳工程学院 新能源学院, 沈阳 110136)

太阳能电池片上生长ZnO/Al薄膜电极的研究属于新型透明导电材料领域,具体涉及一种在未引入电极的太阳能电池片上制备ZnO/Al薄膜的方法。以未引入电极的太阳能电池片为基片,清洗后送入磁控溅射反应室,以纯Al为靶材进行磁控溅射得到20～300 nm厚的Al薄膜,然后将基片置于气相沉积室内同时通入氧气和携带有Zn(CH2CH3)2的氩气,沉积得到50～600 nm厚的ZnO薄膜,最后在氧气气氛下,于400～600 ℃对载有ZnO和Al薄膜的基片退火处理,得到ZnO/Al薄膜。制备工艺简单,沉积过程易于控制,透明导电薄膜的均匀性好,光电性能优异,以此作为太阳能电池的背电极,替代传统的铝金属电极,进一步提高了太阳能电池的转化效率。

太阳能电池片; ZnO/Al薄膜电极; 磁控溅射

0 引 言

随着社会发展和科学技术的突飞猛进,人类对功能材料的需求日益增加,新型功能材料已成为新技术和新兴工业发展的关键。随着太阳能、平板显示和半导体照明等产业的发展,一种新的功能材料----透明导电材料随之产生、发展起来。当光伏产业以连续5年近40%的速度向前发展时,提高光伏电池的效率是其最关键的热点研究问题。本研究小组由太阳能电池的电极入手,替代传统的铝金属电极,在太阳能电池材料上沉积制备出透明导电TCO电极,使太阳光从分照射到电池表面,不受传统电极的挡光影响,进一步提高了太阳能电池的转化效率。……