在线等离子清洗设备控制系统设计

2012-08-08杨静，苗岱，刘畅

电子工业专用设备 2012年1期

杨静，苗岱，刘畅

(中国电子科技集团公司第二研究所，山西太原 030024)

等离子清洗工艺具有成本较低、容易使用、维护及保养费用低、环保等优点，可应用于芯片粘结工艺前、引线键合和覆晶封装工艺前的表面处理。随着国际上对等离子体清洗技术的深入研究及其越来越广泛的应用，等离子清洗设备的需求也成倍增长。然而，等离子清洗在我国尚处于起步阶段。中国电子科技集团公司第二研究所、北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司等为数不多的几家研究院所近年来一直致力于等离子体清洗技术的研究，并取得了真空低压冷等离子体清洗设备的研制成功、常压空气辉光冷等离子体清洗技术的初步研究进展等一系列重要成果。目前国内集成电路生成线上如江阴长江电子，南通富士通公司等所使用的等离子清洗机基本上都是从国外进口，在发达国家的技术垄断下，设备价格比较高。

为此利用现有成熟的等离子体清洗工艺技术和设备制造基础，增加设备自动化功能，结合目前研制的常规等离子清洗设备，参考国外设备结构形式，采用适应于集成电路模块全自动清洗运行方式，制造适用于大规模生产的集成电路在线式清洗设备具有非常重要的意义。