李 俊，李海燕，乔海灵，王颖麟

（中国电子科技集团公司第2研究所，太原 030024）

1 引言

滤波器是一种对频率具有选择性的二端口网络。微波滤波器被广泛应用于微波通信、雷达导航、电子对抗、卫星通信和测试仪表等系统中，是微波系统中不可缺少的重要器件，其性能的优劣往往直接影响整个通信系统的性能指标。随着信息产业和无线通信系统的蓬勃发展，微波频带出现了相对拥挤的状态，频带资源的划分更加精细，分配到各类通信系统的频率间隔也越来越密，因此对滤波器的性能提出了更高的要求。近年来随着微波毫米波系统小型化要求的提高, 各种电路工艺如薄膜技术、多层电路板技术、陶瓷技术受到越来越多的关注。LTCC以其优异的电学、机械、热学及工艺特性，成为未来电子器件集成化、模块化的首选式。

2 LTCC滤波器版图优劣性分析

1985年，M.Sagawa提出了多层陶瓷滤波器的概念，由于LTCC技术在器件小型化方向的巨大优势，在LTCC技术提出以后很快就应用到滤波器、双工器等无源器件的开发中。此后研究者们围绕着如何利用LTCC技术来解决滤波器的小型化和提高滤波器性能进行了大量的研究，提出了很多不同结构来实现LTCC多层滤波器。

目前LTCC滤波器有两种结构形式。一种是集总结构，集总元件构成的滤波器电路由串、并联交叉连接的谐振器构成，通过MIM电容以及螺旋电感，并将这些器件通过通孔连接，来实现特点功能的滤波器，考虑到LTCC工艺制作的因素，滤波器一般不会超过3阶。……