苗 岱，杜虎明，张 峰

(中国电子科技集团公司第二研究所，山西太原 030024)

目前在实验室内的玻璃镀膜工艺相当成熟，转换效率也比较高，但仅限于在小尺寸玻璃基板上的镀膜，不适用工业上大规模生产。大尺寸玻璃刻蚀设备则面向大尺寸玻璃衬底上面制备薄膜的工艺，从而实现了工业化生产。设备设计时，为了兼顾系统运行稳定，维护方便，节省成本，节省人力等相关因素，控制系统采用三菱FXIN型PLC作为控制核心，EVIEW触摸屏为人机界面的构建方式。

1 系统及工艺要求

该设备的工艺流程如图1所示，操作者将待刻蚀玻璃置于上料模块后启动设备自动运行功能，大尺寸玻璃在链式传动方式的协助下，依次通过刻蚀，清洗，及干燥模块，并实现相对应的工艺流程，最后刻蚀后的干燥玻璃停止在下料模块。设备运行过程中要求根据刻蚀模块中刻蚀液与玻璃反应后的浓度变化自动补偿刻蚀液，使得刻蚀液维持在一个稳定的范围内，保证刻蚀后玻璃表面的均匀性，同时要求玻璃在各个模块中的传输速度可调。

图1 设备工艺流程图

2 系统设计与实现

本控制系统由两大部分组成，一为系统硬件结构搭建，包括相关元器件的选型，电路图设计等，二是软件编程，包括PLC元件编程和人机界面设计。

2.1 系统硬件结构

控制系统由信号采集系统，PLC、玻璃搬运系统、刻蚀控制系统、清洗系统、干燥系统及人机界面组成。系统的硬件结构图如图2所示。

2.1.1 PLC

设备所有输入信号在PLC中进行交流转换，PLC由此按照设计人员编写的程序流程实现对相应执行机构的控制，使其最终满足客户的使用要求。……