王 艾，徐 冬

(北京七星华创电子股份有限公司集成电路工艺设备研发中心，北京101312)

立式炉是300 mm集成电路制造的重要工艺设备，适用于集成电路制造过程中氧化、退火、薄膜生长等工艺。立式炉本质上是一种半导体工艺热处理设备，其中作为加热功率供给单元的电力控制系统的安全性和可靠性直接决定了设备安全性能和工艺性能。因此，电力监测系统是保证立式炉设备安全可靠运行的必要环节。

传统的电力监控系统中，多通过测量电流、电压、功率等一系列变送器及测量这些变送器标准输出信号的输入模块作为系统的前端采集装置。这种设计成本较高，而且现场布线复杂，导致系统可靠性不高。

随着计算机技术的不断发展，综合4C技术的分布式控制系统的产生实现了工业生产过程的集中管理与分散控制。Modbus协议就是其中应用较广的一种通信协议。通过Modbus协议，上位机可对立式炉设备的电力数据进行现场的实时获取和保存，保存的电力数据不仅可用于设备的故障诊断，还可用于分析炉体加热器在各温度点上的电学特性。

1 Modbus协议简介[1]

Modbus通信协议是工业控制网络中用于对自控设备进行访问控制的主从式通信协议，由Modicon公司开发，在工业控制中得到广泛应用。它有以下特点：物理接口符合EIA-485规范；组成主从访问的一主多从控制网络；通过简单的通信报文完成对从节点的读写操作；通信速率可达115.2 kbps；在主节点轮询即逐一单独访问从节点时，要求从节点返回一个应答信息；……