孙振杰，费玖海，刘 涛

(中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京065201)

在蓝宝石抛光过程中，影响抛光效果的因子有很多，比如压力、转速、抛光时间、抛光液的类型以及抛光垫的型号等，而且每个因子的水平数也很多，此时如果对这些因子的每个水平可能构成的所有组合条件均逐一进行试验，即进行全因子试验，试验次数就相当多。例如考察4个因子，每个因子有3个水平，则进行全面试验共需进行34=81次试验；又例如，考察7个因子，每个因子有2个水平，则进行全面试验共需进行27=128次，可见全因子试验次数多，所需费用高，所耗时间长，在实际工作中往往是办不到的。那么怎样做到尽量减小试验规模，同时保证试验误差较小，保证试验结果的可靠性呢？正交试验设计方法可解决这个难题。

1 正交试验

正交试验设计是一种通过部分试验并分析试验结果了解全面试验情况的一种试验方法。正交试验设计具有试验次数少，所安排的试验点具有代表性以及得到的试验结论可靠合理等优点。20世纪40年代，正交试验设计法首先应用于农业中，20世纪50年代推广到工业领域，取得了显著的效果。我国从20世纪60年代开始应用这一方法，20世纪70年代得到推广。

运用正交试验法，很重要的一步在于明确试验目的，并根据这个目的选定试验中需要考察的因子及其水平。基于正交试验法研究影响蓝宝石抛光去除率因子的目的主要是：明确蓝宝石抛光工艺中哪些抛光参数（或抛光条件）对蓝宝石抛光去除率影响显著，并寻找最佳工艺流程和工艺参数，最终使抛光去除率达到3～5 μm/h。……