吴 斌，姚 婕，雷小博

(西安理工晶体科技有限公司，陕西西安710077)

早期的硅芯炉单炉次只能拉制1根硅芯，其母料一般为准28～准40 mm，高频电源的振荡频率通常是2.1～2.3 MHz。随着多晶硅产能的不断提高，新型的硅芯炉具备每炉次拉制15～21根准8～准10 mm硅芯棒的能力，这样的产量需要的母料规格一般都在准80～准110 mm之间，如果还用原来高频电源的振荡功率和振荡频率来熔料，效率非常低。由于高频的振荡频率越高，母料表面的集肤效应越强，化料速度越快。故现在的高频电源都将自身的振荡频率提高到2.8～3.0 MHz，以便熔化大直径的母料。随着振荡频率的升高，高频噪声在硅芯炉运行时的干扰作用也就越来越明显。轻则影响电气仪表的显示，重则影响硅芯炉速度系统，导致拉制出非等径的硅芯棒。可以说高频干扰是硅芯炉能否稳定运行的一道难题。

1 高频噪声对硅芯炉电气系统的干扰和危害

高频噪声分为两种传播方式。一种为传导方式，另一种为空间辐射方式。传导方式是指高频噪声通过导线、地线等导体进入到被干扰设备，影响其正常工作。而空间辐射是高频噪声在空气中以“场”传播，对电气设备及其元件进行干扰。

1.1 高频噪声对交流供电系统及其相关电气元件的干扰

高频电源不但是高频电磁发生源，同时也是一个高次谐波发生器，这是因为高频设备普遍使用可控硅整流技术，整流过程中会产生5、7、11……等高次谐波。这种高次谐波串入电网使得电网电压和电流发生畸变。