宋伟峰，成龙，刘永进，关宏武

(中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京 101601)

超声清洗和处理是半个多世纪以来功率超声技术应用最为广泛、深入、成功的一个方面。超声清洗是一种物理清洗方法，其特点是速度快、质景好、高效率且易于实现清洗过程的自动化。在现有各种清洗方法中，超声清洗是最理想、最为有效的一种方法。超声清洗尤其适用于清洗具有复杂形状的物体，对于其他清洗方法无法或很难处理的孔穴、狭缝、凹槽、微孔等，利用超声清洗可获得理想的效果。除此之外，超声清洗还可以不用或少用化学清洗剂、与其他清洗方法比较，在相同洗净度下用水量相对较少且基本上无二次污染，对于降低环境污染和节能减排有较好的社会和经济效益。超声清洗是功率超卢应用的一个分支，其作用机理比较复杂，它涉及非线性声学、气泡动力学、流体力学、化学等多个学科，至今仍有许多问题还为人们所不知。因此，研究、揭示超声清洗的作用机理应当受到重视。

1 超声波清洗的原理

对于清洗，水是具有代表性的液体。通过把附着在片子上的颗粒乳化并扩散于液体中而得到清洗效果。这时通过机械力的作用把颗粒从工件上剥离，超声波在这里发挥了重要作用。

2 超声波清洗原理分类

依据超声功率可分为两大类，既清洗原理可分为两大类（如图1所示）：

①依靠空化作用而进行清洗，既低频率的清洗（40～170 kHz）

②依靠超声波使水分子加速……