杨秀平

优先发展的系统领域实现机电一体化，必须解决这些系统采用微电子技术所面临的共性关键技术，即传感检测技术、系统总体技术等。

一、机电一体化

机电一体化是机械技术、电子技术和信息技术等相互取长补短、有机结合的一种形式，是电子技术、信息技术向机械技术领域渗透过程中逐渐形成的一个新概念。

二、传感检测技术

传感检测技术是系统的感受器官，是实现自控、自调的关键环节。功能越强，系统的自动化程序就越高，其水平决定了机电一体化系统发展的水平。

传感检测元件，即传感器是被测量输入的第一道关口，也是实现自检和自控的首要环节。

三、传感器的分类及用途

常用传感器的功能与人类5大感觉器官相对应：

利用传感器能进行复杂的作业，如判断作业对象的有无，测量其大致位置，检测有毒气体并报警等工作，为人类的生活提供方便。

传感器常见分类：

四、发展方向

在研究最大限度地提高现有传感器及检测系统的精确度、灵敏度、性价比、可靠性，扩大测量范围、缩小体积的同时，还应寻求传感检测技术发展的新途径。

1.开发新型传感器。

（1）利用新材料制作传感器

采用新功能材料制作新型传感器，如：半导体传感器、压电传感器、人工皮肤传感器等。将来，非晶半导体、精细陶瓷、形状记忆合金等新敏感材料将促进新型传感器的研发。

（2）利用新加工技术制作传感器

采用新的微細机械加工技术，如：光刻、扩散及各项异性腐蚀等制作微型、集成化传感器。……