谈国强， 赵高扬， 王 艳， 程 蒙， 任慧君

(1.西安理工大学 材料科学与工程学院，陕西 西安 710048; 2.陕西科技大学 材料科学与工程学院，陕西 西安 710021)

0 引言

BiFeO3具有三方扭曲的钙钛矿结构，室温下同时具有两种结构有序，即铁电有序(TC=810℃)和G型反铁磁有序(TN=380℃)，是少数室温下同时具有铁电性和磁性的单相铁磁电材料之一.这种磁和电的相互控制在信息存储、自旋电子器件方面，磁传感器以及电容-电感一体化器件等方面都有着极其重要的应用前景，使其成为磁电材料的重要候选材料之一[1-5].

自组装单层膜(self-assembled monolayers，SAMs)是指某些含有特定活性基团的分子在某些固体基底(例如Si基底)表面上发生化学吸附而得到的二维规则排列的单分子膜.自组装单层膜具有制备简单、有序程度高、常温下膜层对溶剂的稳定性好等优点.另外，自组装单层膜具有疏水性，在紫外光照射下可形成亲水性基团，可以制备出图案化基底.而且通过改变组装分子的结构(例如烷基链的长度和端基等)，很方便地对膜层的有序程度、厚度及化学、物理和生物等性质进行控制[6].

本工作利用短波紫外光照射仪(λ=184.9nm)作为光刻设备，在光掩膜的覆盖下，对沉积在Si基板上的十八烷基三氯硅烷(OTS)自组装单分子层(SAMs)进行刻蚀，得到图案化的OTS-SAMs，并利用溶胶-凝胶法在功能化的OTS-SAMs上制备图案化BiFeO3薄膜.并对制备的BiFeO3薄其铁电性、介电性和磁性进行测定.

1 实验部分

1.1 实验原料及仪器

十八烷基三氯硅烷(OTS 纯度98%，购自天津泛氟国际贸易有限公司)；……