李泽声，贺云波，刘述进，廖回隆，钱其豪

(广东工业大学精密电子制造技术及装备国家重点实验室，广州 510006)

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目前数控机床、半导体封装设备、检测设备等自动化设备正朝着高速高精度的方向发展，对驱动系统提出了越来越高的要求。而传统的驱动系统是旋转电机加滚珠丝杆的驱动方式，该驱动方式因有联轴器和滚珠丝杆等中间环节，那么就存在反向间隙和弹性变形等缺点，这都导致了传统的驱动系统无法满足高速高精度的加工要求[1]。直线电机的直接驱动方式通过电能直接驱动负载运动，没有中间传动环节和反向间隙，且直线电机的结构简单紧凑、传动精度高、调速范围宽[2]。

永磁同步直线电机(PMLSM)系统是一个非线性、强耦合的复杂系统，且系统本身容易受到系统参数变化、外界扰动以及端部效应等不确定因素的影响。滑模控制是一种特殊的非线性控制策略，其根据当前的状态变量不断地调整控制量，迫使响应曲线跟踪规划曲线，且滑模控制具有响应速度快、对外界动不敏感等优点。张育增等[3]提出了一种基于负载推力观测器的新型变指数趋近律模糊滑模变结构控制方法，该方法的响应速度快、鲁棒性好且跟踪误差小。苏普春等[4]针对直驱H型平台设计了非奇异快速终端滑模控制与交叉耦合控制的复合控制方法，该方法可以提高直驱H型平台的位置跟踪精度和同步控制精度，且鲁棒性强。刘大伟[5]提出一种基于滑模变结构控制方法的鲁棒控制器，该控制器可以在较大的外界扰动的情况下仍保持良好的跟踪性能。……