马东

摘要：目前國家大力发展半导体产业，液态化学品被大量应用到工艺生产中，本文简述了几种行业常见的化学品输送系统和其适用的条件。

关键词：化学品传输供应;移动式;氮压式;泵抽式;重力式

在泛半导体行业（后文简称行业）中广泛使用的化学品有很多是有毒性并且危险的。化学品安全、高纯度和不间断的从存储罐中输送到工艺机台是至关重要的。对于液态化学品来说，这种输送过程是通过化学品供应系统（Chemical Supply System）完成的。化学品供应系统是由化学品源（如一个存储罐）、化学品输送模块（CDM）和管道系统所组成的。化学品供应系统常常建造在主要生产线的下方，输送模块用来过滤、混合和输送化学品，然后通过管道将化学品输送到对应的工艺机台。在此输送过程中，配套的辅助动力系统，含压缩空气系统，纯水系统，高纯氮气系统，电力系统，排风系统，排废系统，泄漏侦测系统，共同作用，保障整个化学品输送系统安全无污染的供应。

化学品供应的介质是主要是液态的，和气态介质靠自身扩散实现远程输送不同，化学品输送只能靠外部动力或者重力来实现远程输送。一般来说有三种输送方式，第一种是采用泵，行业主要使用隔膜泵、风囊泵、磁力泵;第二种是使用带压力高纯氮气对化学品表面施加气压保证源端有较高压力，与后端低压有一定的压力差来输送化学品;第三种是将储罐放置在高位（一般是屋顶）利用重力来传输化学品。……