唐璐阳，张小龙，寇 盼

（西安建筑科技大学机电工程学院，陕西 西安710055）

1 引言

空气静压电主轴以空气静压轴承支承、以电机或者涡轮为动力驱动，带动刀具高速旋转，从而实现高速精密加工，具有回转精度高、低振动、转速高等特点，在机床、精密仪器、医疗器械等领域均得到广泛应用［1］。

作为超精密加工的重要部件，空气静压轴承的性能影响着被加工精密零件的质量［2］。近几年来，关于空气静压轴承的微振动现象已有很多研究成果。文献［3］通过实验发现了气体通过供气孔进入轴承气膜时具有明显的压力降现象。文献［4］通过对超精密气浮工作台的振动特性分析，发现了高速气体通过有腔节流孔时产生“气旋”现象，会导致气膜波动。文献［5］利用Star-CD软件仿真了S型和R型节流孔的内部气体流动情况，并通过实验验证了不同节流孔形状对轴承微振动有影响。文献［6］进一步研究了S型和R型节流孔对轴承承载力和稳定性的影响。为了抑制微振动提高加工精度，文献［7］实验研究发现了增加均压槽可降低轴承微振动80%左右，能显著提高轴承的稳定性。文献［8］研究认为由于空气轴承节流孔内气流雷诺数过大而导致了微振动，并提出了减小微振动的方法。文献［9］和文献O［10］考虑是边界区和惯性区、激波与边界层的相互作用，在供气压力较高和气膜间隙较大的条件下，发现在节流孔入口和出口转角处存在激波现象，从而导致气膜温度和压力下降，甚至使节流孔内的气体流动由层流向湍流转化，使轴承出现微振动。……