赫巍巍，王立平，关立文，李大奇

（1.东北石油大学机械科学与工程学院，黑龙江 大庆163318；2.吉林大学机械与航空航天工程学院，吉林 长春130022；3.清华大学机械工程系，北京100084）

1 引言

伺服进给系统是数控机床的重要组成部分，是连接数控系统CNC和机床主体的关键［1］［2］。因此，伺服进给系统的性能优劣是影响数控机床加工效率以及加工工件表面质量和精度的主要因素，所以研究伺服进给系统的动态误差对于建立机床动态误差理论研究框架具有十分重要的意义［3-5］。

目前对于机床伺服进给系统的研究有很多，文献［6］建立了交流伺服进给系统下的XY工作台的数学模型，并基于该模型，研究了改变间隙、摩擦等因素后对工作台性能的影响，并将其应用于摩擦补偿中，便于提高系统的精度。文献［7］建立了数控机床伺服进给系统的数学模型，推导了其传递函数，并通过仿真得到系统参数与伺服系统性能之间的关系，为改善和提高数控机床伺服系统的性能，提供了一些可靠的理论依据。文献［8］以龙门机床主轴进给驱动为研究对象，利用虚拟样机技术建立其多体动力学模型，确定了丝杠、滑枕柔性和导轨-滑块结合面参数，构建了主轴进给模块刚柔耦合模型，并在MATLAB/Simulink中建立了永磁同步电机矢量控制模型，从而建立了龙门机床主轴进给驱动刚柔-机电耦合仿真模型，并对三环PID参数进行了整定。文献［9］建立了CK1416数控车床的进给系统模型，构建了包括刚度、非线性间隙和非线性摩擦的参数化结构。……