金玉亮

摘  要：為了在光学加工过程中提高紫外增透能力，我们开发了一种有效的制造工艺。在紫外光范围内透射增强显著。透镜表面的局部测量显示，对于紫外光而言，其反射率大大降低，而这种现象在整个透镜上都是均匀的。由此可见，本研究在提高光学加工中的紫外增透具有很好的适用性。

关键词：光学加工，紫外，增透，工艺

抗反射表面是许多光学应用的基本要求。它们可以在许多光学产品中被找到，包括眼镜镜片和照相机物镜，以及高度专业化的光学和实验室系统。抗反射表面采用两种主要技术：干涉涂层^[1]和抗反射结构，也称为motheye结构^[2]。涂层使用相消干涉来减少光的反射。为了获得更宽的光谱性能和角度接收度，必须在光学表面上沉积多层叠层。与抗反射涂层相比，ARS^[3]表现出一些重要的优点。它们作用于宽光谱范围，并且由于其单片结构而对高功率密度的光稳定。尽管这些结构不具备涂层的机械稳定性，但ARS在各种光学的应用中越来越受到关注。

一、 结构设计

我们开发了一种自下而上的技术，不需要任何掩模步骤，只需一个工艺步骤就能在熔融石英中生成ARS。在蚀刻过程中，掩模由蚀刻化学物质本身产生，即所谓的自掩模。因此，出现了完全随机分布的纳米结构。它们表现出显著的抗反射性能，通过改变蚀刻条件，我们能够控制结构的抗反射性能，在紫外光、可见光和红外光范围内具有最大的透射率，如图1所示。由于具有自掩模特性，并且不需要任何光刻制造步骤，我们不仅可以在平面上制造ARS，而且还可以在二元光栅和透镜等结构表面和曲面上制造ARS。……