庄朋,张幼军,冯双,胡涛

（沈阳工业大学机械工程学院,辽宁沈阳 110870）

现阶段精加工领域对磨削加工后的表面质量要求越来越高,如与现在科技发展密切相关的半导体行业,硬脆材料中的玻璃、陶瓷和单晶硅等材料使用磨削加工为最后的材料加工成型步骤,将加工后的表面粗糙度,单位面积内的崩边数量等损伤参数作为评价参数[1].氧化铝陶瓷是典型的硬脆材料[2],因其具有高强度、高耐磨性、良好的化学稳定性等优异性能,在机械、电子、国防和航空航天等领域应用广泛[3],而且氧化铝陶瓷是目前世界上使用范围最广、产量巨大,应用范围最广的陶瓷之一.氧化铝陶瓷主要成分以α-Al2O3粉体为主,并且其备料简单,原料充足，对于钢铁而言其重量轻、密度较小[4-8].

在国内熊万里等学者对氧化铝陶瓷进行了高速磨削实验,其实验结果说明在提高砂轮线速度的同时,加工过程中的磨削力更为平稳,相较于以往传统工艺的表面质量比较,磨削完的表面质量较高[9].黄含在进行同样的磨削实验时使用了树脂金刚石划片,对氧化铝陶瓷进行了高速精密切割实验，揭示了氧化铝陶瓷等硬脆材料的磨削机理,在此基础上还研究了高效率磨削氧化铝陶瓷的力学公式[10-12].谢桂芝等学者对氧化铝陶瓷加工进行了工艺参数的分析,对包括表面质量,磨削温度等性能进行了表征[13].对磨削氧化铝陶瓷的刀具进行研究发现,磨粒等脱落程度对金刚石砂轮的……