金诚明，黄乐，祝海生

（湘潭宏大真空技术股份有限公司，湖南 湘潭 411100）

ICP设备维护管理水平的高低会直接影响到运行工作质量和效率，因此现代企业单位在引进该项先进设备时，还必须安排专业技术人员加强对其进行维护管理工作。检修维护人员需要严格按照ICP设备的运行规律和工作内容，合理采取对应的故障防范控制措施，确保能够最大程度提升ICP设备的完好率，促使其能够安全稳定持续的运行，为企业建设发展创造出更多现实价值。

1 ICP（电感耦合等离子体）概述

ICP实质是指一种因大规模集成电路生产需求而创新开发出来的精细加工技术，其最为显著的特征就是各向异性，不仅能够最大限度保证纵向刻蚀，也可以科学高效控制横向刻蚀。电感耦合等离子体则是一种基于时间变化下的磁场电池感应产生电流作为能量来源的等离子体源。ICP源的主要用途可以分为以下几种：（1）用于反应离子刻蚀：通过ICP源产生低温等离子体，刻蚀材料表面，改变材料的物理与化学性质(ICP-RIE)。（2）电感耦合等离子质谱分析技术：作为质谱分析的离子源，分析组分（ICP-MS）。（3）通过分析ICP源的光谱来分析等离子体原子组分，参见电感耦合等离子体原子发射光谱（ICP-AES）。

2 ICP的刻蚀原理

ICP刻蚀系统构成配置了2个相互独立的射频发生器，它们分别为偏压射频发生器和源射频发生器，它们的共同点是射频频率都为13.56MHz。如图1所示为IPC刻蚀原理，其中我们可以直观清晰看到偏压射频发生器被设置应用在下电极，而源射频发生器则被设置应用在上点击侧壁感应线圈上。……