利用氟硅酸与电石灰制备四氟化硅工艺研究
2021-09-09张小霞
无机盐工业 2021年9期
张小霞
(多氟多化工股份有限公司,河南 焦作 454001)
氟化工被誉为21世纪的“黄金”产业,广泛应用于军工、航天、化工、机械、陶瓷、医药等领域,目前已成为化工行业中发展最快、最具高新技术和最有前景的行业之一。氟化物中的氟最主要的来源是萤石和磷矿石,而萤石是不可再生资源,在业内被称为“第二稀土”,被多个国家或经济体纳入战略性矿产资源名录。世界上有开采价值的磷矿中的氟储量超过萤石中氟储量的100倍以上,因此各个国家都非常重视磷矿石中氟资源的综合利用[1]。而中国的氟盐产品中88%的氟来自萤石,仅有12%的氟来自磷肥副产。加快磷肥副产氟资源的综合利用,既是资源的合理利用,也是清洁生产所需[2-3]。
电石灰是电石水解获取乙炔气体后以氢氧化钙为主要成分的固体废弃物,其堆放不仅占用大量土地,而且会污染堆放场地附近的水资源,容易风干起飞灰形成粉尘和大气污染,是必须重视和综合利用的资源[4]。可以将其制成建筑材料、作为路基原料、环保中和处理以及生产普通化工产品等,这些利用途径可以在一定程度上缓解环保压力,但是经济效益、处理量都相对有限,局限了其资源利用的价值。
SiF4气体是电子加工工业中的重要原料,被广泛应用于半导体和光纤领域[5]。近年来,随着以SiF4为中间产物的多晶硅生产工艺的开发与成熟,SiF4在半导体行业有着较为广阔的应用前景[6]。目前中国制备SiF4多使用传统的硫酸法和Si-HF直接合成法,其缺点是成本高、转化率低、副产物多、杂质去除困难等[7]。……
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