姚晓成，蒋春燕，赵 程，曾 涛

(上海材料研究所，上海市工程材料应用与评价重点实验室，上海 200437)

0 引 言

精密光学器件的应用变得越来越广泛，其微振动的抑制成为研究热点[1]。目前普遍采用弹簧类或橡胶类隔振器[2]来抑制精密器件的微振动。但是，该类隔振器由于自身阻尼较小，在低频激励时不能有效起到减振作用，同时难以满足精密器件高灵敏度、高精度和高稳定性要求。因此，如何抑制精密器件的微振动仍是目前亟待解决的问题。

压电陶瓷是指经直流高压电场极化处理后具有压电效应的铁电陶瓷，具有密度小、响应精度高，频响高和输出力大等优点[3]，目前已应用在卫星[4]、空间望远镜等微振动抑制方面。单片压电陶瓷的输出位移较小，难以抑制实际工程中的大振幅振动，这极大限制了其应用。压电层的串联可以大幅增加相同电压下压电陶瓷的输出位移[3]，因此通常将压电陶瓷片串联制成压电层串联、电极层并联的压电叠堆，以达到低电压驱动、高性能输出的目的[3]。压电叠堆是将多层压电片通过环氧树脂胶黏而制成的，兼具压电片响应精度高、频响高和输出力大等特点，但当其受到横向剪切力或纵向拉伸力时，极易发生损坏。在实际应用过程中，需要给压电叠堆设计一个促动器结构，减小其在运动过程中受到剪切力和拉伸力，从而延长压电叠堆的使用寿命。

近年来，研究者们为提高压电叠堆的输出性能做了很多研究。……