代 康，张 松+，舒 雨，张 伟，张 振

(1.山东大学 机械工程学院高效洁净机械制造教育部重点实验室，山东 济南 250061；2.山东大学 机械工程国家级实验教学示范中心，山东 济南 250061；3.山东蒂德精密机床有限公司，山东 济宁 272000)

0 引言

加工精度是衡量数控机床性能优劣的重要指标之一。一般来说，数控机床直线进给轴的几何误差对加工精度影响的占比在18%～30%[1]，主要来源于导轨等零件的制造误差和机床零部件的装配误差。目前，降低数控机床几何误差的措施分为误差防止和误差补偿两种方法[2]，误差防止法致力于主动控制误差，通过提高机床进给系统关键零件的尺寸和形状精度提升整机的几何精度，但同时大幅增加了制造难度和成本；误差补偿法采用被动补偿方式测量出装配完成后机床存在的几何误差，然后通过合适的计算模型和补偿算法将误差反馈到控制系统，从而修正几何误差。误差补偿能以较小的代价提升几何精度，其研究重点是如何测量并辨识出全部几何误差。

数控机床几何误差测量方法的发展得益于精度检测设备的迭代升级，从步距规、水平仪、千分表等传统精度检验设备，到基于激光测距的激光干涉仪、激光追踪仪，以及基于光栅尺测距的球杆仪、平面光栅，检测精度和测量多样性得到了保证[3]。相比于其他检测设备，激光干涉仪的测量精度较高，而且检测成本和操作难度控制得当，可搭配不同镜组测量多种类型误差，已经成为机床行业主流的精度检测设备。……