武汉京东方光电科技有限公司 孟 雨 刘子源 张 杰 林 敏 向红伟 金 瑞 苏昊文 匡 磊 张 壮

温湿度是TFT-LCD生产过程中洁净间的重要环境特性，温湿度的异常波动可能会导致TFT-LCD生产所需原材吸湿腐蚀或产生ESD相关不良。因此，合理地使用温湿度测试仪对洁净间的温湿度进行监控是十分重要的管控措施。本文以在日常监控过程中发现A温湿度测试仪与B温湿度测试仪实测数据存在机差的为例，通过假设检验与回归分析等统计学方法解决仪器机差问题，为其他TFT-LCD环境测试仪器机差问题提供了解决方法与分析思路。

温湿度是TFT-LCD生产过程中重要的环境特性。特别是湿度，如果湿度超出规定范围（Spec，55±5%RH），可能会使原材吸湿腐蚀或产生ESD相关不良，从而影响产品可靠性与良率。因此，湿度监控是TFT-LCD生产环境中是十分重要且必不可少的关键步骤。

目前，常用的洁净间温湿度监控方法主要包括2种：（1）在线式温湿度传感器探头，固定在洁净间不同区域，通过传感探头实时监控洁净间内温湿度变化；此种方法可以实时获取洁净间内固定位置的温湿度水平，但无法对特定区域进行探测；（2）手持式温湿度测试仪，由传感器和测试仪组成，人员可将其携带至指定位置进行测试，但由于经常人为操作，仪器易存在机差。

表1 手持式测试仪A测试数据

针对测试过程中出现手持式温湿度测试仪的湿度测量机差问题，本文通过假设检验验证仪器机差显著性，分析机差显著性结果，通过回归分析建立测试仪器机差模型，并对回归模型进行残差验证，从而解决实际应用过程中因测试仪器存在机差导致数据失真的问题。……