汤磊鹏，黄 鑫，朱洁洁，白秀君，周继业，汪永超

（杭州精欣化工有限公司，浙江 杭州 311322）

电子级过氧化氢是工业过氧化氢的深加工产品，主要作为半导体晶体片的清洗剂、腐蚀剂和光刻胶的去除剂。电子级过氧化氢的生产一般是以蒽醌法生产的工业级过氧化氢为原料，其中除了含有一定量的无机物杂质和机械杂质之外，还含有一定含量的有机物杂质。这些有机物杂质包括蒽醌化合物以及酯、醇、酚、酮类化合物等，主要来源于生产中的添加剂以及物料加工、输送、存储等过程。有机杂质被氧化后在硅片的表面可分解成水气等物质，使硅片局部氧化速度增加，从而增加氧化层厚度，使其变得不均；残留的有机物也会被带入下游工序中，造成一定影响[1-2]。

总有机碳（TOC）是反映过氧化氢受到有机物污染的指标之一，因此过氧化氢中的总有机碳含量为重要指标。测定过氧化氢产品中总有机碳的方法有吸光光度法[3]、红外吸收法[4]、低温紫外氧化法等[5]。检测仪器越来越精确，可选方法越来越多，本文使用TOC-L 总有机碳分析仪测定电子级过氧化氢中的总有机碳[6-8]，实验证明本方法操作简单，结果准确、可靠。

1 实验方法与步骤

1.1 实验方法

差减法（TC-IC 法）测定：将试样连同净化气体分别导入高温燃烧管和低温反应管中，经高温燃烧管的试样被高温催化氧化，其中的有机碳和无机碳均转化为CO2；经低温反应管的试样被酸化后，其中的无机碳分解成CO2。两种反应管中生成的CO2分别被导入非分散红外检测器。……