黄立朝，阎燕山，程绪林，张如州

（1.中科芯集成电路有限公司，江苏无锡 214072；2.中国航空无线电电子研究所，上海 201100）

1 引言

高压模拟开关具有传输速度快、导通电阻小、通道隔离度高等特点，因此，其广泛用于微处理器中的交互接口或其他开关应用电路中。模拟开关工作时不仅可以传递模拟信号，还可以传递数字信号，但值得注意的是，模拟信号的变化值（幅度）必须在正负电源电压之间，又由于电路是高压模拟开关，故其传递的信号幅度变化范围就可扩展得很大[1]。

模拟开关主要功能是实现信号的不失真传递，在开关上消耗的功耗很小，实现信号传输系统的低能耗和高精确性。随着模拟开关工作电压越来越高，在高压工作状态下容易出现端口漏电流过大而失效。然而芯片漏电失效的原因往往不易把握。本文提出了一种快速定位漏电失效的方法，通过分析漏电现象，提出解决漏电问题的一种通用方法，对漏电相关问题具有较强的参考价值。

2 电路结构原理及漏电测试方法

2.1 电路介绍

本文针对的这款16 选1 高压模拟开关采用0.8 μm FEOL with 0.35 μm 40 V power analog process工艺生产。芯片版图采用1P2M 布线，版图面积为3.825 mm×2.825 mm。电路内部主要采用的器件包括高压NMOS 管、高压PMOS 管、高压阱电阻及高压BTJ 管等[1]。以上类型的器件，其工艺耐压可达40 V 以上，是构成本模拟开关电路的核心器件。本文介绍的这款高压模拟开关电路基于BCD 工艺设计制作，性能可靠，实用性强[2-3]。

2.2 电路结构原理

本文介绍的高压模拟开关电路的结构框图如图1所示。……