彭宜昌，吴易龙，徐 伟，张 威，陈特超

( 湖南红太阳光电科技有限公司，湖南 长沙410111)

钝化发射极及背接触太阳能电池（PERC 电池）是目前技术成熟、应用广泛的高效太阳能电池，其产能逐年扩大[1]。与常规铝背场电池相比，PERC 电池的工艺流程中增加了全覆盖的背面钝化膜，通过化学气相沉积方式在背面形成氧化铝钝化层，并加覆一层氮化硅保护膜，两者形成层叠降低表面载流子的复合，以减少缺陷带来的电池背面光电损失，从而保证电池转换效率[2]。微波等离子体增强化学气相沉积（MW-PECVD）法是制备高质量背面钝化膜的重要方法[3]，其成膜过程在真空状态下进行，成膜质量好且成膜速率快。

随着微波等离子体技术在光伏钝化薄膜材料沉积中的应用，电池生产厂商成本控制成为至关重要的问题，大产能工艺设备成为首选。作为平板式PECVD 设备核心部件的微波等离子体源的性能越来越受到人们的关注。目前线形同轴耦合等离子体系统的长度主要集中在1100～1300 mm，输入的微波功率一般小于3 kW。而进一步的增加等离子体源长度，则需要提高微波功率，但微波功率的提高，会使磁控管无法在高功率下长时间稳定工作而造成寿命偏低。为找到合适的微波等离子体源长度，自主研发设计了线形同轴耦合微波等离子体系统，通过对该系统的等离子体源分布规律以及均匀性进行仿真分析，探讨了平板式PECVD 设备提升产能的可行性。

1 线形同轴耦合微波等离子体系统

线形同轴耦合微波等离子体系统的结构示意图如图1 所示。……