韩 钰，杨戴博，李 昆，李 丹，夏 源，张 虎，曾 帅，曾少立

（中国核动力研究设计院 核反应堆系统设计技术国家级重点实验室，成都 610213）

0 引言

微电流通常指信号小于10-6A 的电流信号，在测量时非常容易被噪声淹没，属于微弱信号测量领域中的一个重要学科。微电流信号测量技术已被广泛应用于核电、航天、医疗、军事侦察、物理学、化学、电化学、天文学、磁学等许多领域。例如：在医疗领域，重离子放疗中用于束流位置及剖面均匀性监测的分条电离室探测器输出的信号为多路的微电流信号，其输出电流信号低至nA 量级甚至fA量级；在航天领域，探测器产生的总电离量与输出电路中累积的电荷直接有关，并且在某一段时间内所要测量的电路中的电流信号也是十分微弱的；在核动力领域，需要测量布置在堆芯或压力容器外的探测器产生的许多路微电流信号，从而实现堆芯和堆外物理状态参数的实时监测。由此可见，微电流测量设备作为高精密测量仪表，已经在多个领域广泛应用[1,2]。微电流测量装置作为高精密仪器，其测量的精度和稳定性直接关系到设备的可靠性和可用性。尤其在核动力领域，当微电流测量技术应用到安全级设备时，其测量的稳定性将关系到反应堆的安全，为此专门配备了相应的高精密微电流信号装置和仪器仪表，用于标定、制造、调试和定期维护等。目前，这类的精密仪器仪表一直被国外厂家所长期垄断（如Keithly 等），且国内该类仪表仅实现了nA 级微电流信号输出，对于pA 级甚至fA 级尚未有类似产品报道。……