周 森，张志伟,b，杨娅洲

(中北大学 a.信息与通信工程学院；b.电子测量技术重点实验室，山西 太原 030051)

波片是光轴方向平行于晶体表面的双折射晶片，作为偏振光学技术和光学系统中的重要元件，它被应用在各种研究领域. 例如，波片可以在椭偏法测量或相移干涉测量中对偏振光的偏振态进行调制；用在太阳磁场测量设备的偏振分析器和滤光器中，能够直接影响太阳磁场望远镜偏光系统的测量精度[1]. 随着科技的进步，对于波片的精度要求越来越严格，所以对波片相位延迟的精密测量方法的研究具有重要意义.

波片相位延迟的测量，常见的测量方法有：电光调制法[2]、旋光法[3]、光谱扫描法、补偿法、光强测量法[4]、激光频率分裂法[5]、激光回馈法[6-7]、相位检测法[8]等. 以上测量方法的原理及技术都比较成熟，但有些方法的设备较为复杂且昂贵，有些方法要求对光强进行精准测量，有些方法对测量角度有着精准要求，故在实验过程中由于种种原因会引起较多的误差或由于实验器件的缺失无法进行测量. 本文设计了基于双声光光外差对光斜入射情况下波片相位延迟的测量系统，利用波片光轴在入射面不同方位时o光(寻常光)与e光(非常光)的传播特性来对波片的相位延迟进行检测，该方法使用的器件都是基础器件，对光强与测量角度没有严格要求，且该方法不仅仅限于1/4波片，还可应用于对各种波片的测量.

1 光外差检测技术

光外差检测……