岳秀伟，张保军，姜丽娜

（陕西高科环保科技有限公司，陕西咸阳713200）

1 剥离液概述

随着人工智能的快速发展，智能手机、平板电脑等移动终端设备、车载显示、工业仪表等行业对液晶面板的需求量日益增加。薄膜晶体管（TFT-LCD）日益成为市场上的主流显示技术，国内面板制造企业的规模和数量近几年均有飞速的增长。

早期，芯片及液晶面板类产品的核心技术特别是TFT-LCD 的生产技术大部分由日本、韩国企业掌握；大陆半导体企业主要靠吸收引进中国台湾、韩国、日本、美国企业的设备及技术支持。随着科技发展，2010年后，以京东方为代表的民族品牌异军突起，其在成都、合肥、重庆、鄂尔多斯等地分别建厂；TCL 的旗下子公司华星光电（CSOT）在深圳、武汉布局；中国电子集团总公司旗下的中电熊猫在南京、成都分别建厂；彩虹股份（CHOT）在咸阳扩产建设8.6 代线；深圳惠科（HKC）的8.5 代液晶面板生产线在重庆投产。

工业上使用的剥离液大多由有机胺和极性溶剂组成的混合物[1-2]。其主要用途是在面板制造的剥膜工序中，通过溶解和溶胀的作用，去除玻璃基板上的光刻胶。上述有机胺溶剂一般由：乙醇胺、N，N-二甲基丙酰胺、N-甲基甲酰胺等组成，而极性溶剂一般由二乙二醇单甲醚、二乙二醇单丁醚、二甲亚砜等组成。

而废剥离液中除以上有机溶剂外，还含有一定量的光刻胶、水和其他高沸点的杂质。其共同特点是：废液呈黑棕色，除少量的光刻胶等杂质外，大部分为有回收价值的剥离液。因此，对此类溶剂回收工艺进行深层次研究及工艺探讨，得到简单有效、环境友好[3]的处理方式，对废剥离液市场显得尤其重要。……