邸绍岩 焦奕硕

(中国信息通信研究院信息化与工业化融合研究所，北京100191)

0 引言

微机电系统(Microelectro Mechanical System,MEMS)传感器是利用微机械加工技术制造的新型传感器，相比于传统传感器元件，MEMS传感器凭借质量轻、体积小、灵敏度高、可靠性强、易于集成等优良特性，成为推动传感器不断向微型化、智能化发展的主要动力，同时MEMS技术作为微电子制造技术的一个重要分支，也是超越摩尔时代的重要发展方向之一。

1 MEMS传感器产业发展总体情况

当前，全球传感器产业正处于飞速发展的时期，技术更新迭代不断加快，产业竞争日益激烈。2018年，全球传感器市场规模达到2059亿美元，年均增长率超过12%，其中MEMS传感器占比由2015年的8%迅速上升至25%，成为仅次于图像传感器(CIS)的第二大传感器门类[1]。

全球MEMS传感器市场目前仍由欧美日等发达国家和地区主导，其中美国、德国以及日本三国市场占比达到50%以上，而在高端MEMS传感器领域，美国和德国的优势则更为明显[2]。美国博通在射频MEMS传感器领域处于绝对领先地位，尤其在MEMS滤波器领域，市场份额高达87%。随着智能终端产业的爆发式增长，博通的优势将得到进一步巩固。博世在运动类MEMS传感器方面一枝独秀，其产品在汽车以及智能手机等领域已成为不可或缺的关键部件。我国在声学MEMS传感器等领域具有一定竞争力，但整体来看尚不具备主导能力。

随着MEMS制造技术的逐渐成熟，新型MEMS传感器产品层出不穷，产品出货量也呈现急剧增长的趋势[3]。目前MEMS企业……