滕新友，孙建华，邰战雄，任业富，王玉柱

（四川九洲空管科技有限责任公司，四川 绵阳 621000）

0 引言

微波的频率范围为0.3～3000GHz，其具有高、宽、容量大等特征，广泛运用于多个领域。其中，组成微波电路的关键部件包括功率合成器和分配器，其功率合成关键技术决定了微波系统性能指标的优劣，这种品质体现在系统的通信质量、抗干扰能力等方面。当前，功率放大器件运用比较普遍，市场上主要有电真空器件和固态功率器件两种，两种器件具有不同的优缺点：电真空器件体积大、电压高、可靠性低；固态功率器件体积小、频带宽、可靠性高，但受限于半导体材料、工艺等技术，单支固态功率器件输出功率不高，无法满足系统功率需求，因此，固态功率合成技术应运而生。

1 固态功率合成技术的使用

功率合成技术是指使用合适的功率合成网络，将不同的功率源信号进行组合并且输出叠加，形成叠加信号＞单个输出信号，功率＞单个功率的现象，该技术出现在20世纪60年代，发展至今已经逐渐形成规模。作为研究的热点，当前，MMIC的功率放大器在现有的技术支持下很难实现高功率输出，真空电子器件当中的行波管能够提高功率的输出，但是缺乏宽带性能[1]，因此，将多个功率放大器使用功率合成技术组合放大，实现高功率输出，得到越来越广泛的应用。

2 合成技术

2.1 芯片合成

芯片功率合成是将若干个源芯片以串联或并联的方式运用在微波单片集成电路设计当中，以金丝键合的形式连接输入输出匹配电路来实现高功率输出，该概念在1968年被提出，在芯片上串联，在热传输路径上并联来实现功率合成。……