张宁宁， 张雪玲， 张咏明， 孙瑞辉

(1.北京理工大学 自动化学院，北京 100081； 2.空军装备部驻北京地区第一军代室，北京 100039；3.上海诺玛液压系统有限公司，上海 201108)

电液伺服阀作为电液控制系统的核心部件，其特性直接决定了电液伺服系统的性能，在二级力反馈电液伺服阀中，反馈杆和弹簧管作为电液伺服阀机械反馈的力敏感元件，其刚度直接影响电液伺服阀动静态性能[1]。因此，通过检测反馈杆、弹簧管的刚度值，将反馈杆、弹簧管的刚度值控制在一个适当值，是保证电液伺服阀性能和一致性的重要手段。

现有的刚度检测系统主要有手工吊砝码系统、基于电容测位移系统、基于单臂施力两点测量系统和基于CCD的光学测位移系统等[2-4]。其中，手工吊砝码的整个测量过程都是由人工实现，该测量方法受人为因素影响较大，且长时间测量人眼容易疲劳，人为误差会导致测量数据失真，不能满足零件测量数据一致性要求；电容测位移系统首先找到精密元件的初始位置，然后使导轨移动一段距离，在反馈杆和测力弹簧的相互作用下测量形变量，再计算出刚度值，这种方法的精确度有所提高，但实验中用到的电容式位移传感器易受外界干扰，实际应用比较困难；单臂施力两点测量系统基于两点测量原理，可有效消除平行电阻应变片式力传感器温漂、蠕变等外界因素对测量精度的影响，提高了测量精度，并且减少了力传感器调零的步骤，简化了测量的步骤，但该方法的机械部分设计复杂，不便于操作；……