陈 威，党景涛，王 河，周庆奎，庞超群

(1. 中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京100176；2. 杭州旻芯电子科技有限公司，浙江杭州310000)

UV-LED 光源作为一种新兴光源，近几年技术获得了极大的进步。与传统汞灯相比，具有光强更高、稳定性更好的特点，可节省电能约50%，寿命延长5 倍～10 倍。一支进口汞灯的使用寿命通常在800～1 000 h，在进行工业生产中，通常24 h 保持工作状态，能耗极大，随着持续使用光强快速衰减，需要根据工艺需求不断对汞灯位置进行校正，调节光强大小以满足曝光时光强要求。UV-LED 光源采用电子快门技术，曝光结束后LED 自动关闭，间断性的使用极大地延长了LED 的使用时间，曝光光强可以通过调节灯珠功率实现，操作简单方便。图1 是UV-LED 光源与汞灯光源的成本和使用寿命的对比。UV-LED 光源成本更低，寿命更长，性价比更高，已用于新型接触/ 接近式光刻机，满足工艺要求，具有巨大的市场需求。

图1 UV-LED 光源和汞灯光源对比

目前国内玻璃化钝化器件(GPP)、功率器件、LED 等行业多数使用宽频谱光刻胶，对于多个波段光线都会产生感光反应，因此汞灯光源因其波段范围广（主要包括365 nm、405 nm、436 nm 波长）具有很大优势。本实验设计了一种混波UV-LED 光源，频谱范围更接近汞灯，在采用汞灯光源进行曝光工艺变化不大的情况下，混波UV-LED 光源更容易实现汞灯光源的替换。针对AZ5214E 光刻胶进行了系统地工艺实验，对客户因光源更换光刻工艺改进实践具有指导意义。

1 实验方法

实验采用改进型BG-406 接触/ 接近式光刻机，曝光光源为混波UV-LED 光源，如图2 所示。……