李耀贵

（广东理工学院,广东 肇庆 526100）

硅片传输机器人是一种先进的集成电路制造装备，如何实现对硅片传输机器人运动灵活性的有效分析与评价，成为当前机器人运动学研究与研发制造领域的热门研究方向。灵活性是反映机器人系统对于运动学特性转化能力的重要指标，现有研究成果主要选取局部灵活度各向同性、方向可操作度、棱角与同轴度等指标进行具体分析，但在实际性能评价环节，单一指标无法实现对机器人性能的综合评价与反馈，仍需探索一种将原始评价指标变量进行整合、简化处理后解决复杂问题的有效方法。通过建立一种机器人运动灵活性的综合方法，能够为机器人运动学分析与性能评价提供理论层面上的指导，也能够为工业生产与应用领域机器人运动灵敏度的优化提供现实应用价值。

1 因子分析法原理与算法流程

1.1 变量选择

采用因子分析法进行机器人运动灵活性评价，在综合评价方案设计上，首先建立评价模型，将机器人运动灵活性划分出具体评价标准，获取各尺度下的评价得分及综合得分；随后建立初等荷载矩阵，完成各因子贡献率的计算，并将各性能指标整合成少数公共因子，经由因子旋转实现对不同尺度下对应具体性能的有效区分[1]。采用定性与定量分析相结合的方法，从中筛选出具备较强相关性的变量，确定为原始变量。

1.2 数据转化

考虑到原始变量在数据类型、计量单位上存在一定差别，为确保因子分析法应用结果的有效性，需实行计量单位的统一。……