朱黎明，龚 伟，敬 瑀，崔开放

（西南科技大学制造科学与工程学院，西南科技大学 材料科学与工程学院，四川 绵阳 621000）

1 引言

金属有机物化学气相沉积是制备金属薄膜的一种重要途径，所制备的金属薄膜在半导体、电子、航天、军工等领域有广泛的应用[1]，然而化学气相沉积是一种对参数要求十分精密的技术，否则会对成膜的质量产生一定的影响。影响化学气相沉积过程最主要的因素是气体的流动与传热，内部气体各参数的热力学差异促进了气体的流动[2]，比如温度差、压力差、浓度差等。这种差异促进了分子的流动、对流与扩散，不仅对沉积过程产生影响，反应机理和沉积效果也会受到影响。

抗高温烧蚀涂层在航空航天与军工领域具有广泛的应用，由于航天器的推力室与枪管的炮膛承受很高的温度，因此对抗高温涂层提出了很高的要求。Re 涂层是一种抗高温涂层[3-5]，现阶段，Re 的化学气相沉积主要采用ReCl5热分解或ReF6氢气还原法沉积，但是存在沉积温度太高，Re 的成本太高，产生环境不友好气体等问题[6-7]。课题组采用沉积Co-Re 合金涂层的方式，不仅降低了生产成本，而且提高了涂层的抗烧蚀性和抗氧化性，为开发出新型抗烧蚀涂层提供了可能。采用CFD 流体力学软件对课题组设计Co-Re 化学气相沉积设备反应室进行数值模拟，真实的再现内部气体流动规律，为生产高质量Co-Re 合金涂层提供可能，同时也为进一步优化设备提供支撑。

2 Co-Re 化学气相沉积反应室及计算区域网格划分

Co-Re 化学气相沉积反应室结构简图，如图1 所示。……