冒 薇

（苏州经贸职业技术学院，江苏 苏州 215009）

0 引言

目前，直接键合技术已成为工业生产中的重要手段，已经被广泛应用到各行各业，但由于有些设备的使用条件有限，还存在一些问题，例如：操作过程中容易产生磨损，影响直接键合的精度；某些部件的尺寸难以保证，因此需要重新调整，这也增加了人工成本。

1 晶圆直接键合工艺研究

直接键合工艺在工业上应用广泛，主要有以下三个方面：（1）直接键合尺寸精度高，但由于其工艺性差，因此生产率低，所以一般采用热冲压或压力冲模内冲孔的方法来提高其加工效率。（2）在保证零件质量的前提下，通过改变模具的结构设计，使之具有一定的互换性，从而达到降低成本的目的；（3）使用自动控制的方式来实现对熔融材料的温度和时间调节，以满足不同的产品需要。而晶圆直接键合是一种新型的无废料成型工艺，它利用热传导的原理将熔融的晶体与固体进行连接，并加热到特定的温度和时间后，固化形成制品。它不仅能制造出形状复杂的铸件，而且还能制成各种金属的复合板。

1.1 晶圆直接键合理论

晶圆直接键合是在普通的直接键合机中采用的一种新型的方法，它是利用了高强度的材料来制造的一个非常简单的连接部件，其主要的特点就是可以实现机械的联接，而且它的工艺性比较好，在生产过程中的成本也会降低很多，所以在工业上被广泛的应用；为了使这个复杂的接头能够更加的简便，我们通常会使用一些特殊的结构来进行处理。……