孔晶，费玉清，陈正件, *，郭新刚，郭劼，康志新，陈德馨

（1.珠海中科先进技术研究院有限公司，广东 珠海 519085；

2.珠海罗西尼表业有限公司，广东 珠海 519085； 3.华南理工大学，广东 广州 510000； 4.暨南大学，广东 广州 510000）

磁控溅射具有溅射温度低、沉积速率高的特点，而且制备的薄膜纯度高、厚度均匀、与基体结合力良好，因而被广泛应用于各种薄膜制造中，如单层或复合薄膜、磁性或超导薄膜，以及有一定用途的功能性薄膜等，在科学领域以及工业生产中发挥着不可替代的作用[1-3]。

近年来，玫瑰金因华丽典雅成为风行于当今国内外装饰品行业的潮流时尚。袁军平等[4]从冷加工角度对玫瑰金的工艺性能进行了分析。目前市面上采用玫瑰金膜层的产品往往容易出现变色，给使用者带来不好的产品体验。不少研究者[5-9]只是对TiN涂层进行分析，但鲜见玫瑰金变色机理方面的分析。刘海华等[10]从耐磨性和附着力两方面探讨了离子镀玫瑰金的变色情况。本人在前期工作中[11]也研究了不同磁控溅射时间对膜层耐磨性和耐蚀性的影响，但未对机理进行深入研究。因此本文采用现代物理检测方法，对比TiN/Au-Cu玫瑰金复合薄膜表面未变色和变色处的差异，研究了玫瑰金镀层的变色机理。

1 实验

1.1 材料

Ti靶成分为质量分数是99%的纯钛，金合金靶材成分(以质量分数表示)为：Au 72%，Cu 26%，Zn、Y等微量元素少量。

1.2 玫瑰金薄膜的制备

对经过抛光的316不锈钢片(25 mm × 60 mm)进行除蜡、除油等清洗前处理后上挂烘干，再放入PVD12512E型磁控溅射真空镀膜机内，真空室抽至本底真空5 × 10−3Pa后通入氩气，并维持在0.013 3 ~ 0.133 0 Pa之间。……