李旻昊

摘 要：了解低蒸气压气体特性以及流动消耗状态下受温度压力体积的影响，通过加热保温的多种方法，输送给使用端安全稳定并达到要求的气体。

关键词：加热方式;低蒸气压气体;饱和蒸气压;焦耳-汤姆孙效应

1 引言

特殊气体供应主要针对的是半导体产业，目前半导体行业运用特殊气体的有太阳能行业，液晶面板行业与芯片行业。这些行业需要多种气体在一定的状态下与半导体材料进行反应，从而达到材料的某种特性。本文主要讨论低蒸气压气体输送设备如何给使用端安全稳定的按照需求标准的输送气体，以及如何保证钢瓶内低蒸气压气体的蒸发量能满足使用端的流量需求。低蒸气压气体在钢瓶内是气在常温状态下的饱和蒸气压很低，外界环境温度变化，所以在气体输送时很容易导致管路中气体液化。

2 低蒸气压气体蒸发吸热量方法研究与应用

低蒸气压气体在钢瓶内是气液共存状态，液态表面会蒸发汽化转变为气态，同时气态也会转变为液态，在一定温度条件下气态与液态会达到平衡。蒸发是在液体表面发生的汽化现象。蒸发在任何温度下都能发生，液体蒸发时需要吸热。温度越高，蒸发越快。此外，表面积大、通风好也有利于蒸发。蒸发的逆过程是液化，即气体转变为液体。当两种过程达到动态平衡，此时的蒸气叫饱和蒸气。[1]在钢瓶气体使用时气体是流动的，使用端需要稳定的气体压力与流量持续的供应，液体的自然蒸发量通常满足不了需求量，这样液体会气体蒸发量大而降温并且钢瓶内气体压力会降低。……