李品

摘要：坐标测量机是在现代智能制造行业中广泛应用的几何量测量设备。最大允许探测误差MPEP是评价坐标测量机测量精度的一项重要指标。在设备验收检测和复检检测工作中，设备的三维探测误差P（Probing Error）应不超过设备标明的最大允许探测误差MPEP。因此，对于三维探测误差的可靠的校准测量，以及科学高效的数据处理具有重要的意义。文章对三维探测误差的计算方法从一种新型的数学模型出发，使用特征值法来实现三维探测误差校准测量原始记录数据的计算，为三维探测误差的校准测量提供理论和实践的参考。

Abstract： Coordinate measuring machine is a geometric quantity measuring equipment widely used in modern intelligent manufacturing industry. The maximum allowable detection error MPEP is an important indicator for evaluating the measurement accuracy of coordinate measuring machines. In the equipment acceptance inspection and re-inspection inspection， the three-dimensional detection error P （Probing Error） of the equipment should not exceed the maximum allowable detection error MPEP marked by the equipment. Therefore， reliable calibration measurement of three-dimensional detection errors and scientific and efficient data processing are of great significance. The calculation method of the three-dimensional detection error is based on a new mathematical model， and the eigenvalue method is used to calculate the original recorded data of the three-dimensional detection error calibration measurement， which provides a theoretical and practical reference for the calibration measurement of the three-dimensional detection error.

关键词：三维探测误差;特征值法;二次型最值

Key words： three-dimensional detection error;eigenvalue method;quadratic maximum

中图分类号：TH721                                      文献标识码：A                                  文章编号：1006-4311（2020）24-0242-02

0  引言

將被测物件固定在坐标测量机的操作台上，一般的接触式的3D桥式坐标测量机的探头会在沿着坐标测量机设备的X，Y，Z轴移动，每一个轴上都有微米级的位移传感器实时监控探头的位置。在测量前，首先建立空间直角坐标系，确定空间直角坐标系的原点的相对位置和X，Y，Z轴正方向相对位置，当探头接触到被测物体的某一特定位置时，计算机就采样三个位置传感器的数据，然后还需要考虑探头的角度等多种因素，综合各项因素就可以得到物体表面上的点的空间直角坐标的数据。这个过程不断重复，就可以产生出物体表面上的点的空间直角坐标数据的集合，从而可以通过数据处理来描述物体的表面几何特征。

1  三维探测误差的测量结果的精度指标