王 平，聂 慧，李 焕，韩海滨，胡 晋， 马 涛，王强强，徐 涛，徐 祥，王 鹏

(合肥京东方显示技术有限公司，安徽 合肥 230011)

1 引 言

薄膜晶体管液晶显示(TFT-LCD)是当前显示行业的主流工艺，随着时代的进步，液晶显示产品客户的数量和需求激增，客户对液晶显示产品在高分辨率、高开口率、低功耗等方面有着更高的要求。作为成盒工段第一站的配向膜涂覆工艺更是至关重要，因为配向膜作为阵列基板和彩色滤光片基板的最底层材料，其涂覆品质直接影响较高显示画质性能的达成。目前随着液晶显示尺寸越来越大，产品厚度越来越薄，这种趋势带来了高视觉效果和便携性等诸多优点。而喷墨涂覆工艺本身的独特优势最适合大尺寸玻璃基板的生产。

随着液晶产品的更新换代，对更高画质和喷墨涂覆工艺涂覆质量提出更高要求，实际生产中也出现了涂覆性膜面缺陷。本文也对喷墨涂覆工艺相关材料参数和设备参数进行深入研究，对喷墨涂覆工艺涂覆质量进一步优化。

2 喷墨涂覆工艺的介绍

喷墨涂覆工艺(Inkjet)是通过压电陶瓷定量喷墨吐出实现配向膜溶液涂覆在玻璃基板上的一种涂覆方式[1]。

其工作原理是将配向膜溶液通过压力送入喷头(Head)内，通过电流使喷头内的压电陶瓷产生形变将配向膜溶液从喷孔内吐出，利用喷头或机台的移动形成高密度配向膜液滴，最后在表面张力的作用下使液滴扩散后连接成膜。由于配向膜液滴扩散作用影响较大，涂覆边缘不宜控制，喷墨涂覆工艺不适合小尺寸液晶产品的涂覆生产[2]。……