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多晶硅生产方法研究

2019-10-21成进义

中国化工贸易·下旬刊 2019年11期
关键词:应用

成进义

摘 要:多晶硅是一种非常重要的半导体材料,目前被广泛应用于各种电子元件制作中。随着信息技术的发展和计算机的广泛应用,人们在生产生活中对多晶硅的需求越来越多,对其生产工艺也提出了更高的要求。本文将主要探讨多晶硅的性质特点及在工业生产中的主要用途,并对多晶硅的各种生产方法进行分析。

关键词:多晶硅;生产方法;纯度;应用

传统的生产方法主要包括西门子法、硅焕法和流化床法等,但利用这种方法制作的多晶硅一般纯度比较低。随着科学技术的发展,多晶硅的生产工艺和技术也在不断精进,涌现了许多成熟的生产方法,其中比较有代表性的就包括冶金法、热还原法和碳迁徙法等,利用上述方法可以制得纯度比较高的多晶硅,接下来我们将对这些方法进行逐一探讨。

1 多晶硅性质及作用

目前所使用的多晶硅是一种混合物,其化学成分主要是二氧化硅。多晶硅的生产原料主要是石英硅和碳单质,石英硅在一定的条件下发生氧化还原反应生产我们所需要的二氧化硅,在这个过程中碳单质主要起催化作用,促进反应正向进行。根据所生产的多晶硅的纯度不同可将其分为太阳能多晶硅和电子级多晶硅,二者用途也不一致。太阳能多晶硅目前主要用于生产太阳能电池,以助力于新能源开发。电子级多晶硅主要用于晶体管、微电子器件及大规模的集成电路,在计算机行业中应用十分广泛。……

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