刘会成

【摘 要】某電子企业在生产过程中产生的酸性废气具有腐蚀性、有毒有害的特点。本文以某电子企业酸性废气处理工程为例，采用“两级碱喷淋塔”工艺，废气处理效率高于95 %。工程实例表明“两级碱喷淋塔”处理工艺可达到深度净化、经济可行、稳定性高的效果。

【关键词】电子行业;酸性废气;两级碱喷淋塔

中图分类号： X517 文献标识码： A 文章编号： 2095-2457（2019）10-0244-002

DOI：10.19694/j.cnki.issn2095-2457.2019.10.108

An Example of Acidic Waste Gas Treatment Project of an Electronic Enterprise

LIU Hui-cheng

（Academy of Environmental Planning & Design，Co.，Ltd.，Nanjing University，Nanjing Jiangsu 210093，China）

【Abstract】The acidic waste gas generated in the production process of the electronics industry has the characteristics of l， high corrosiveness， toxicity and harmfulness. In this paper， an acidic waste gas treatment project of an electronic enterprise is taken as an example， in which the “two-stage alkali spray tower” process is used to treat acidic waste gas， and the waste gas treatment effiency is higher than 95 %. The engineering example shows that the two-stage alkali spray tower process can achieve deep purification， economic feasibility and high stability.

【Key words】Electronics industry; Acidic waste gas; Two-stage alkali spray tower

电子元件的超声清洗、前清洗、腐蚀、蚀刻、淀积、去污、背面蒸发等生产工艺中，因原辅材料的使用容易产生酸性废气。某电子企业的主要产品为铝电解电容器和电源基板，由于硅片清洗、氧化膜腐蚀、沟槽刻蚀和化学镀镍等生产过程中需要使用大量盐酸，因此该企业产生了大量有组织酸性废气，主要成分为氯化氢，该酸性废气具有腐蚀、有毒有害特性，对周边环境和人身安全可能会产生严重影响[1]，合理收集和有效净化处理酸性废气已成为该企业实现清洁生产的关键。

目前国内外对酸性废气净化手段主要包括吸附法、化学法及湿式高压静电法等[2]。吸附法利用活性炭等吸附剂的未平衡和未饱和分子引力或者化学键力特性对气态分子进行捕捉[3]，使气体污染物浓聚并吸附在活性炭表面，由此实现废气净化。该方法操作原理简单，吸附量大，热稳定性好，但净化效率不高，且活性炭消耗量大，具有饱和性，需要定期进行更换。化学法[2]是利用酸碱中和原理实现废气的净化，如碱喷淋塔处理工艺，该工艺利用高速运转的风机和喷嘴，使吸收液充分雾化，加大吸收液与酸性废气的接触面积，达到净化目的。……