耿 帅，苏俊宏

(西安工业大学 光电工程学院，西安 710021)

目前，国内外对激光诱导损伤判别方法主要有等离子体闪光法[1]、光声法[2]和散射光强测量法[3-4]等。图像法作为国际标准的溯源方法，具有简单、便捷以及低成本等优点。近年来，学者们进行了许多关于薄膜激光损伤的图像检测，文献[5]从工艺的角度研究了激光与材料物理性质的关系，表明了不同激光工艺参数对材料的微观形貌有重要影响。文献[6]通过改进传统的边缘提取算法，得到清晰的损伤边缘图像，通过观察损伤点尺寸，为在线判别损伤提供了技术途径。文献[7]通过图像Hough变换，准确求得光斑面积，减小损伤判别过程中误差的影响。文献[8]利用遗传算法，对薄膜缺陷图像分割，为分析薄膜质量提供依据。文献[9]针对具有多层次复杂区域，各区域过渡不明显的激光损伤图像，将小波分解运用于损伤的判别中，取得了较好的分割效果。文献[10]提出基于差异图像灰度直方图的相似性测度算法，用于判定薄膜损伤程度，适用于实时检测。文献[11]在光学元件在线检测中使用暗场成像技术，由于薄膜的光学特性取决于薄膜表面粗糙度[12]以及制备时沉积温度和膜厚[13]等因素，因此，当光学元件发生损伤时，薄膜表面粗糙度发生变化，用光源辐照薄膜，通过损伤点处产生的散射光，可以得到暗背景下清晰的损伤图像。文献[14]通过在图像上建立坐标系，识别图像信息，得到图像的损伤区域。文献[15]结合损伤图像特点，在全内反射照明条件下，提出一种高精度的检测算法，在提高精度同时，保证了低漏检率。……