廖承龙

摘 要：晶体管经过功率老炼后，有些电参数会出现漂移，有些较大的漂移会严重影响晶体管的性能。本文主要介绍晶体管功率老炼的原理，发生电参数漂移的主要原因以及一些解决措施，旨在提高我们对晶体管生产过程的认知和改进工艺水平，提高产品可靠性。

关键词：晶体管 老炼筛选 关键参数 漂移

一、引言

随着电子、微电子器件在航空、航天等高科技领域的广泛应用，对微电子技术提出了更高的可靠性要求。

晶体管有效工作寿命就是它的可靠性，即它能够正常完成某一特定电气功能的时间。晶体管失效的过程通常是这样的：随着时间的推移或工作环境的变化，器件的规格参数发生改变。当它们的规格参数变化到一定限度时，尽管外加工作条件没有改变，却也不能承受电路的要求而彻底损坏，使它们的特性参数消失，例如晶体管的放大倍数降低而失去作用。显然，这是一个“从量变到质变”的过程。

晶体管的失效率是时间的函数。统计数字表明，新制造出来的器件，在刚刚投入使用的一段时间内，失效率比较高，这种失效称为早期失效。晶体管的早期失效，是由于在设计和生产制造时选用的原材料或工艺措施方面的缺陷而引起的。它是隐藏在元器件内部的一种潜在故障，在开始使用后会迅速恶化而暴露出来，这种早期失效是十分有害的，但又是不可避免的。在经过早期失效期以后，晶体管将进入正常使用阶段，其失效率会显著地迅速降低，这个阶段叫做偶然失效期。……