陈少国，于兆勤，刘江文，郭钟宁

1 引言

机械设备中运动部件的相对运动过程难免存在不同程度的摩擦，由于润滑不足或者磨擦程度严重将会导致磨损。这也无疑增加了无用功和能源损耗，并且降低机械设备工作效率和使用寿命等一系列问题[1]。根据摩擦学理论以及其研究成果，在摩擦副表面制备微小凹坑结构可以使摩擦副具有良好的存储润滑油效果，在相对运动中，运动部件表面微凹坑的润滑油启到一定润滑作用能大幅度地减少摩擦以及所产生的热量[2]。由此可见，摩擦副表面具有微凹坑对减少摩擦有重要作用。

目前国内外都在关注微坑制备技术的发展，并且已经发展了激光加工[3-4]，电化学[5]，电液束加工[6-7]，超声加工[8]，自激振动[9]，电火花加工[10]，低频强迫振动[11]以及这些方法的相互结合的复合加工[12]等多种加工表面凹坑的方法。上述方法中，激光加工容易生成“翻边”，需要进行二次加工去除凹坑边缘生成毛刺；电火花加工会出现电极严重损耗，而且热效应会使局部生成其余物质；自激振动加工方法其加工的凹坑难以控制；低频强迫振动由于其本质是靠机械方式进行加工，故难免会有机加工的一些缺点；电液束加工需要设计特定电极头；超声加工对机床转速要求高。

电解加工具有电极无损耗，效率高，工件无加工应力等特点，材料去除主要依据电化学阳极溶解原理，为非接触加工。电解加工可分为掩膜和无掩膜加工，采用光刻工艺和电解技术相结合的掩膜电解加工单个凹坑结构以研究不同电加工参数对凹坑的影响。……