刘正勇 刘晏 王广炎 陈友东

（1合肥欣奕华智能机器有限公司，合肥，230013；2北京航空航天大学机械工程及自动化学院，北京，100191）

0 引言

液晶面板是信息产业时代的核心部件之一，广泛应用于社会生活的各个方面。作为液晶面板的重要组成部分，液晶玻璃基板上密集分布着被称为Pattern Line的电子线路，在制作过程中，由于Pattern Line的宽度和间距均在微米级，因此极易产生Pattern Line间的断路和短路，且在生产过程中会不可避免地存在缺陷点（NG点），从而直接影响液晶显示器产品的品质和稳定性。在生产过程中检测出这些缺陷点并进行分类，且对可修复的缺陷点进行修复，不仅可以提高最终产品质量，还可以提高产品良品率、降低成本。

液晶玻璃基板检测一般分为光学检测和电学检测两种方法。光学检测技术是一种共性技术，应用广泛[1-3]，针对这种技术的研究相关文献也较多[4-9]。

光学检测技术在液晶玻璃基板线路检测方面有较多应用，如文献[4]介绍了投射电容屏ITO电路检测用线阵CCD成像系统的设计；文献[5]研究了LCD基板线路的自动光学检测系统，此技术亦可用于玻璃基板的质量检测；文献[6-8]主要介绍了基于机器视觉的液晶玻璃基板质量在线检测系统；文献[9]研究了应用几何光学原理实现玻璃基板厚度和弯曲度的CCD检测方法。

光学检测技术通过工业相机获取玻璃基板表面电路光学图像，并运用复杂的算法[10]与电路标准形状进行比对，再根据其差异识别出Pattern Line的缺陷。由于Pattern Line非常密集，且玻璃基板尺寸较大（最大可达到3370mm×2940mm），利用光学检测方法会涉及到大量的图像处理工作，所以检测基板所用的时间较长[11]。……