上海新创达智能科技有限公司

(上海新创达智能科技有限公司，上海 201306)

在集成电路制造技术高度发达的今天，300 mm集成电路制造工厂已成为全球半导体行业的主流。在保证成品率的基础上，最大限度的提高工厂生产效率，以获得最大产出，是每个集成电路制造企业追求的目标。集成电路生产制造作为高科技行业中的劳动密集性产业，包括三十几道主流生产工艺，上百道重复工艺流程，精确、可靠、稳定物料流转是影响集成电路生产效率的关键之一。

自动物料搬运系统（Automatic Material Handling System，AMHS）广泛应用于机场的货物运输、自动化工厂的物料运输等。

1 自动搬运系统在集成电路生产中的应用

早期的150 mm(6英寸)晶圆厂，晶圆尺寸小、本身质量有限，应用并不是很广，随着晶圆尺寸的增大，200 mm、300 mm(8英寸、12英寸)工厂的兴起，AMHS的应用开始渐渐兴盛起来。

1.1 第一代应用

集成电路制造自动物料搬运系统的搬运区间一般分为区间湾和区内湾,空中走行式穿梭车（OHS）负责区间湾,而空中走行式无人搬送车(OHT)负责区内湾。第一代AMHS的区间湾和区内湾相互独立，区间湾和区内湾中间通过自动仓储系统连接起来。跨湾的搬送必须要通过自动仓储系统，即“OHT+自动仓储系统+OHS+自动仓储系统+OHT”，该模式最早应用在Intel Fab厂。自动仓储系统作用不仅仅是晶圆的存储，他还扮演了更为重要的晶圆搬运的桥梁作用。如果说某个湾区上的自动仓储系统发生了故障，相关湾区上的晶圆运输也会受到影响。

1.2 第二代应用

“OHT+自动仓储系统+OHS+自动仓储系统+OHT”，跨湾区的搬送必须通过上述的自动仓储系统来完成，极大地影响搬运效率。……