邵波

摘 要： 介绍了微加速度计的基本原理以及国内外常见的各种微加速度计的结构形式，包括压电式、电容式、扭摆式、隧道式等，分析了这些传感器的基本特点，总结微加速度计发展中存在的一些问题，并提出一些解决关键问题的措施，预测微加速度计未来的发展趋势。介绍了微机械加速度计的基本原理及其分类。重点论述了微机械加速度计的特点和它在民用领域内的不同应用，并对微机械加速度计领城内一些断的进展进行了讨论，指出了微机械加速度计的发展趋势。

关键词： 微加速计；结构与系统；应用

引言

随着微机电系统技术的发展，微加速度计制作技术越来越成熟，国内外都将微加速度计开发作为微机电系统产品化的优先项目，微机械加速度计是最重要的 MEMS 器件之一。微加速度计与通常的加速度计相比，具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、稳定性高、可大量生产等优点。可以广泛地运用于航空航天、汽车工业、工业自动化及机器人等领域，具有广阔的应用前景。

1.微加速度计的原理及分类

市面上的为加速度计一般是由敏感结构单元和信号处理电路单元，这两部分组成的。微加速度计中的敏感结构单元是用来探测需要探测的加速度信号，并将探测到的信号以电学信号的形式输出表现。信号处理电路顾名思义就是对敏感结构单元输出的电学信号进行处理分析，得出与探测到的加速的信号成正比的电压信号。……